Редактор: С Зи В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выбшнонращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов Для студентов старших курсов вузов соотвжъиаветствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.